Технологии производства
Методы выращивания кристаллов и нанесения покрытий: метод Чохральского, плавка по Вернейлю, магнетронное напыление. Термины объясняют, как получают монокристаллы и тонкие плёнки и какую роль в этих процессах играет кварцевая оснастка.
Магнетронное напыление — это метод физического осаждения из газовой фазы (PVD), при котором материал выбивается из мишени ионами аргона в плазме, удерживаемой магнитным полем магнетрона, и осаждается на подложку плотной беспористой плёнкой. От испарительных методов его отличают энергия частиц (5–20…
Подробнее →Метод Чохральского — это способ выращивания монокристаллов вытягиванием из расплава: затравочный кристалл касается поверхности расплава и медленно поднимается с одновременным вращением, наращивая на себе слиток с единой кристаллической решёткой. Именно этим методом получают более 90 % кремния для микроэлектроники, а…
Подробнее →Плавка по Вернейлю (метод Вернейля, flame fusion) — это способ выращивания монокристаллов, при котором порошок оксида просыпается через кислородно-водородное пламя, плавится в нём и кристаллизуется на вращающейся затравке, наращивая грушевидный слиток-булю. Метод не требует тигля вовсе, что и делает его…
Подробнее →
