Распыляемые мишени из кварцевого стекла от ООО «ГК «Кварц-Пром» — это исходный материал для нанесения тонких плёнок диоксида кремния (SiO₂) методами магнетронного и ионно-лучевого распыления. У нас можно купить кварцевые мишени круглой и прямоугольной формы, диаметром от 50 до 300 мм, толщиной от 3 до 12 мм — со склада в Москве и под заказ. Доставка по всей России. Изготавливаем мишени из высокочистого кварцевого стекла КУ-1 с содержанием SiO₂ до 99,99%, что обеспечивает чистоту наносимых плёнок и стабильность процесса напыления. Мишени применяются в производстве оптических покрытий, полупроводниковой электроники, дисплейной техники, солнечных панелей и других отраслях с тонкоплёночными технологиями.

Поставки распыляемых мишеней от ООО «ГК «Кварц-Пром»

ООО «ГК «Кварц-Пром» производит распыляемые мишени из кварцевого стекла на собственных мощностях с прецизионной механической обработкой и контролем чистоты материала. Цена зависит от типоразмера, чистоты материала и количества. Стандартные диаметры (50, 100, 150, 200, 300 мм) есть в наличии, нестандартные изготавливаются за 4–6 недель. Ниже приведён перечень типовых распыляемых мишеней.

Технические характеристики

Распыляемые мишени из кварцевого стекла представляют собой плоские диски или пластины, изготавливаемые из высокочистого плавленого диоксида кремния. К мишеням предъявляются особые требования: высокая чистота (любые примеси переходят в наносимую плёнку и нарушают её свойства), отсутствие пузырей и инородных включений (приводят к локальной концентрации электрического поля и образованию микродугов при распылении, что разрушает мишень), точная плоскостность и параллельность граней (для равномерного распыления и стабильного процесса), оптимальная толщина (выбирается под мощность распылительной системы и требуемую длительность кампании напыления).

Физические свойства

Химические свойства

Сферы применения

Кварцевые распыляемые мишени применяются везде, где требуется нанесение тонких плёнок чистого диоксида кремния. В производстве оптических покрытий SiO₂ — это материал «низкого индекса» (n=1,46), который чередуется с высокоиндексным TiO₂ или Ta₂O₅ при изготовлении многослойных просветляющих и отражающих покрытий. Большинство интерференционных фильтров, диэлектрических зеркал и просветляющих покрытий мирового производства имеют слои SiO₂, нанесённые именно из кварцевых мишеней.

В микроэлектронике и полупроводниковой промышленности кварцевые мишени применяются для нанесения диэлектрических слоёв SiO₂ на полупроводниковые пластины — это слои изоляции между проводящими дорожками микросхем, защитные оксидные плёнки. В дисплейной технике SiO₂ наносится как защитный слой на матрицы LCD- и OLED-экранов, как промежуточный слой в TFT-структурах. В солнечной энергетике кварцевые мишени используются при производстве фотовольтаических модулей — антирефлексные покрытия повышают КПД, а пассивирующие слои SiO₂ снижают рекомбинацию носителей. В лазерной технике мишени высокой чистоты применяются для нанесения покрытий с особо высокой лучевой прочностью. Также востребованы в производстве архитектурного стекла (низкоэмиссионные покрытия), декоративных покрытий и научных установках напыления.

Особенности производства кварцевых мишеней в ООО «ГК «Кварц-Пром»

Производство кварцевых мишеней — высокотехнологичный процесс, требующий контроля чистоты материала на всех этапах. ООО «ГК «Кварц-Пром» производит мишени из марки КУ-1 — синтетического кварцевого стекла с содержанием SiO₂ до 99,99% и минимальным количеством металлических примесей. Технологический процесс начинается с подготовки заготовки нужного диаметра и толщины (с припуском на обработку), затем выполняется грубая шлифовка плоских поверхностей, тонкая шлифовка с контролем плоскостности, при необходимости — финишная полировка для уменьшения шероховатости поверхности.

Особое внимание уделяется отсутствию микропузырей и инородных включений в объёме материала — даже один пузырёк диаметром в десятые доли миллиметра при распылении становится центром образования микродуги, которая локально плавит мишень и выбрасывает частицы материала на подложку, нарушая качество плёнки. Контроль выполняется визуально при просвечивании, а для прецизионных применений — методом теневой микроскопии. Для повышения эффективности распыления мишени могут поставляться смонтированными на медной подложке через паяное соединение — это улучшает теплоотвод и позволяет работать на более высоких мощностях. По запросу выполняем мишени нестандартной геометрии под конкретные распылительные установки.

Как купить кварцевые распыляемые мишени от ООО «ГК «Кварц-Пром»

Чтобы купить кварцевые распыляемые мишени у производителя ООО «ГК «Кварц-Пром», направьте заявку через форму на сайте, по телефону +7 (499) 703-06-40 или на почту info@quartz-prom.ru. Для расчёта укажите форму (круглая или прямоугольная), размеры, толщину, требуемую чистоту, тип распылительной системы (магнетронная, ионно-лучевая, RF), необходимость монтажа на медную подложку и количество.

Нужны кварцевые мишени под заказ? Завод-производитель ООО «ГК «Кварц-Пром» принимает заявки на изготовление по чертежам и ТЗ — нестандартные диаметры, прямоугольные мишени под прямоугольные катоды, мишени с особо высокой чистотой для микроэлектроники, мишени с прецизионной плоскостностью для прецизионной оптики. После согласования параметров готовится коммерческое предложение, фиксируются сроки и запускается производство партии.

Стандарты транспортировки и хранения

Кварцевые мишени — относительно прочные изделия благодаря большой толщине (3–12 мм), но их рабочие плоские поверхности чувствительны к царапинам и загрязнениям. Каждая мишень упаковывается индивидуально в безворсовую бумагу с защитой плоских поверхностей, помещается в герметичный пакет (для защиты от пыли) и в жёсткую коробку с фиксацией. Мишени с напаянной медной подложкой требуют дополнительной защиты места пайки от ударных нагрузок. Тара маркируется как «Хрупкое».

Хранить кварцевые мишени следует в сухих закрытых помещениях при температуре от +5 до +35 °C в исходной упаковке. Длительное хранение в условиях высокой влажности нежелательно — на поверхности кварца может образовываться тонкая гидратная плёнка, которая на начальном этапе распыления приведёт к нестабильности процесса. Перед использованием мишени проходят контроль на отсутствие сколов, царапин и загрязнений; при необходимости очищаются специальными методами для напылительного оборудования.

Требования к безопасности при использовании кварцевых мишеней

При установке мишени в распылительную систему важно соблюдать чистоту — попадание любых загрязнений на рабочую поверхность приведёт к выбросу примесей в наносимую плёнку. Установка выполняется в чистых перчатках, поверхности дополнительно очищаются перед закрытием камеры. При первом распылении из новой мишени проводится «прогон» — короткий период работы при низкой мощности с закрытыми заслонками, чтобы удалить с поверхности адсорбированные газы и возможные загрязнения.

В процессе эксплуатации не допускается превышение рекомендованной плотности мощности на мишени — для кварца это типично 5–10 Вт/см², выше — риск термического разрушения и образования трещин. Особенно опасны мишени с локальными дефектами — в них электрическое поле концентрируется и приводит к локальному пробою и плавлению. По мере выработки мишени контролируется глубина «эрозионной канавки» (зоны максимального распыления, обычно расположенной в области магнитного поля магнетрона) — при превышении предельной глубины мишень заменяется, иначе возможен прорыв и попадание материала подложки мишени в плёнку. Персоналу следует использовать средства индивидуальной защиты при монтаже-демонтаже мишеней; при работе с RF-системами соблюдать требования электробезопасности.