Оптические окна из кварцевого стекла КВ, КИ, КУ-1
Изготавливаем оптические окна из кварцевого стекла марок КУ-1, КУ-2, КВ, КИ по ГОСТ 15130-86 — плоскопараллельные пластины для УФ-, видимой и ИК-оптики, эксимерных лазеров (193 нм ArF, 248 нм KrF), DUV-литографии, бактерицидной техники и химико-аналитического приборостроения. Диапазон пропускания зависит от марки: КУ-1 / КУ-2 — UV-VIS (от 170–200 нм), КВ — VIS до ближнего ИК, КИ — UV-VIS с улучшенным пропусканием в ИК до 3,5–4 мкм. Диаметр до 300 мм, параллельность граней ≤ 30″ (до 5″ по запросу), плоскостность N = 3…5 (до N = 1 по запросу), чистота поверхности до S/D 20/10 для лазерных применений. По чертежу или ТЗ заказчика, от 1 шт.
Марки кварцевого стекла и диапазоны применения
| Марка | Тип | Применение |
|---|---|---|
| КУ-1, КУ-2 | Синтетическое (без OH-полос или с контролируемым OH) | UV-VIS, эксимерные лазеры, DUV-литография, УФ-люминесцентные приборы |
| КВ | Из природного сырья | VIS — ближний ИК, лазерные окна, общая оптика |
| КИ | ИК-сорт (низкое содержание OH) | UV-VIS с улучшенным пропусканием в ИК до 3,5–4 мкм |
Аналоги: Suprasil (Heraeus), Spectrosil (Saint-Gobain), Corning HPFS — выпускаем оптику с эквивалентными параметрами по ГОСТ 15130-86.
Физические свойства кварцевого стекла
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Плотность | 2,20 г/см³ |
| Температура размягчения | ≈ 1665 °C |
| Температура отжига | ≈ 1140 °C |
| Коэффициент теплопроводности | 1,38 Вт/(м·K) при 20 °C |
| Коэффициент термического расширения | 0,55 × 10⁻⁶ /K (20–300 °C) |
| Твёрдость по Кнупу | ≈ 600 кг/мм² |
| Удельная теплоёмкость | 740 Дж/(кг·K) |
| Модуль Юнга E | 72 ГПа |
| Коэффициент Пуассона | 0,17 |
| Стойкость к термоудару | Очень высокая благодаря низкому КТР |
Оптические свойства кварцевого стекла
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазон пропускания (КУ-1 / КУ-2) | ≈ 0,17 – 2,5 мкм (UV — ближний ИК) |
| Диапазон пропускания (КВ) | ≈ 0,22 – 3,5 мкм |
| Диапазон пропускания (КИ) | ≈ 0,22 – 3,5 мкм с улучшенным пропусканием в ИК (низкий OH) |
| Показатель преломления n (λ = 587,6 нм) | 1,4585 |
| Показатель преломления n (λ = 248 нм, KrF) | ≈ 1,508 |
| Показатель преломления n (λ = 193 нм, ArF) | ≈ 1,560 |
| Число Аббе νd | 67,8 |
| dn/dT | ≈ 9,6 × 10⁻⁶ /K |
| Лучевая стойкость | Высокая для синтетических марок (КУ-1, КУ-2) — стандарт для эксимерных лазеров |
Химические свойства кварцевого стекла
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Стойкость к воде и большинству кислот | Высокая (кроме HF и горячей H₃PO₄) |
| Состав | SiO₂ ≥ 99,9 % (синтетика — выше 99,99 %) |
| Гигроскопичность | Отсутствует |
| Стойкость к щелочам | Ограниченная при высоких температурах |
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Материал | Кварцевое стекло КУ-1, КУ-2, КВ, КИ по ГОСТ 15130-86 (или эквиваленты Suprasil / Spectrosil / HPFS) |
| Тип изделия | Оптическое окно (плоскопараллельная пластина) |
| Форма | Круглая или прямоугольная — по ТЗ |
| Диаметр / габарит | До 300 мм (большие — по согласованию) |
| Толщина | От 1 мм до 30 мм |
| Параллельность граней | ≤ 30″ (типовое); до 5″ — по запросу |
| Плоскостность N | 3…5 (типовое); до N = 1 — по запросу (λ = 632,8 нм) |
| Местная ошибка формы dN | ≤ 1 (λ = 632,8 нм) |
| Чистота поверхности (S/D) | До 20/10 по MIL-PRF-13830B (для лазерных применений) |
| AR-покрытие | Возможно — AR на DUV (193, 248 нм), VIS, NIR; диэлектрические зеркала и светоделители — с одной или обеих сторон |
Параметры в таблице — стандартные. Изготавливаем оптические окна из кварцевого стекла любых габаритов, толщин и допусков по чертежу или ТЗ заказчика, от 1 шт.
Изготовление
Для производства оптических окон из кварцевого стекла применяем технологию прецизионной обработки SiO₂:
- входной контроль заготовки на двулучепреломление, пузырьки и свили (по выбранной марке КУ-1 / КУ-2 / КВ / КИ);
- распиловка и черновое формообразование пластин расчётной толщины;
- грубое шлифование двух плоских поверхностей;
- тонкая шлифовка и доводка обеих сторон с контролем параллельности на интерференционном клине / автоколлиматоре;
- финишная полировка обеих сторон до dN ≤ 1;
- контроль плоскостности N и dN на интерферометре (λ = 632,8 нм);
- контроль параллельности граней на автоколлиматоре с разрешением до 5″;
- контроль чистоты поверхности по MIL-PRF-13830B (S/D), для лазерных применений — до 20/10;
- отжиг для снятия остаточных напряжений;
- нанесение AR-покрытий с одной или двух сторон под рабочую длину волны (DUV / VIS / NIR) — по запросу.
Опыт работы с кварцевым стеклом всех марок ГОСТ 15130-86 и собственный оптический парк позволяют выпускать кварцевые окна, пластины и кюветную оптику лазерного качества — включая оптику для эксимерных лазеров 193 и 248 нм.
Области применения
- Окна эксимерных лазеров ArF (193 нм) и KrF (248 нм) — на марке КУ-1;
- УФ-литография и DUV-степперы в полупроводниковом производстве;
- Окна лазерной техники видимого и ближнего ИК-диапазона: Nd:YAG (1064 нм), излучатели НГ-1 и НГ-2;
- Окна УФ-люминесцентных приборов и спектрофотометров (190–400 нм);
- Окна высокотемпературных печей и термокамер — за счёт низкого КТР и стойкости к термоудару;
- Окна химических реакторов и кювет для аналитики — стойкость к большинству кислот;
- Окна УФ-стерилизаторов и бактерицидных ламп (254 нм);
- Окна вакуумных камер, медицинских лазеров и эндоскопических систем.
Как купить
Изготавливаем оптические окна из кварцевого стекла по чертежу или ТЗ заказчика, от единичных образцов до серийных партий. Для расчёта пришлите марку стекла (КУ-1 / КУ-2 / КВ / КИ или эквивалент), габарит (диаметр или стороны прямоугольника), толщину, требования по параллельности граней, плоскостности N, чистоте S/D и AR-покрытию на info@quartz-prom.ru или позвоните +7 (499) 703-06-40 — рассчитаем стоимость и сроки.
Часто задаваемые вопросы
Какая параллельность граней у кварцевых окон?
Стандарт — ≤ 30″. По запросу — до 5″ (контроль на автоколлиматоре).
Какую марку кварцевого стекла выбрать?
Для DUV-применений (193, 248 нм) и эксимерных лазеров — КУ-1 (синтетическое, низкое содержание примесей, высокая лучевая стойкость). Для VIS — ближнего ИК — КВ. Для пропускания в ближнем ИК до 3,5–4 мкм с минимумом OH-полос — КИ.
Какие зарубежные аналоги?
КУ-1 / КУ-2 — Suprasil (Heraeus), Spectrosil (Saint-Gobain), HPFS Corning 7980/7979. КВ — оптическое кварцевое стекло из природного сырья (Infrasil, Heralux). По ТЗ работаем как с отечественными марками по ГОСТ 15130-86, так и с эквивалентами.
Можно ли заказать прямоугольное окно?
Да. Выпускаем круглые и прямоугольные пластины по чертежу заказчика.
Подходит ли кварц для эксимерных лазеров?
Да. Синтетический кварц КУ-1 — стандартный материал для оптики эксимерных лазеров ArF (193 нм) и KrF (248 нм). Высокая лучевая стойкость и совместимость с DUV AR-покрытиями.
Каков максимальный диаметр окна?
До 300 мм в стандартной заготовке. Большие диаметры — по согласованию.
Наносите ли AR-покрытие?
Да. Просветляющие покрытия под DUV (193, 248 нм), VIS, NIR; диэлектрические зеркала и светоделители — с одной или обеих сторон.
От какого количества возможен заказ?
От 1 штуки. Серийные партии — по согласованному графику поставок.
В заявке указываете точные параметры, количество экземпляров и любые дополнительные требования, включая чертежи (если это необходимо).
Мы также согласовываем сроки изготовления и доставки.
Готовую продукцию мы отправляем вам с доставкой по Москве и другим регионам.
Вы получите уведомление о готовности и времени доставки.
Балаклавский проспект, 24, к. 1, оф. 1/1 Главный офис
