Оптические окна из фтористого кальция CaF2
Изготавливаем оптические окна из фтористого кальция (CaF₂) — плоскопараллельные пластины для УФ-, видимой и ИК-оптики, эксимерных лазеров (193 нм ArF, 248 нм KrF), DUV-литографии и FTIR-спектрометров. Диапазон пропускания материала 0,13–10 мкм, диаметр до 150 мм, параллельность граней ≤ 30″ (по запросу — до 5″), плоскостность N = 3…5 (до N = 1 по запросу), чистота поверхности до S/D 40/20 по MIL-PRF-13830B. По чертежу или ТЗ заказчика, от 1 шт.
Физические свойства фторида кальция (CaF₂)
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Плотность | 3,18 г/см³ |
| Температура плавления | 1360 °C |
| Коэффициент теплопроводности | 9,71 Вт/(м·K) |
| Коэффициент термического расширения | 18,5 × 10⁻⁶ /K |
| Твёрдость по Кнупу | 158,3 кг/мм² |
| Удельная теплоёмкость | 854 Дж/(кг·K) |
| Диэлектрическая постоянная (f = 1 МГц) | 6,76 |
| Модуль Юнга E | 75,8 ГПа |
| Модуль сдвига G | 33,77 ГПа |
| Модуль объёмной деформации K | 82,71 ГПа |
| Упругие коэффициенты | C11 = 164 МПа; C12 = 53 МПа; C44 = 33,7 МПа |
| Предел упругости | 36,54 МПа |
| Коэффициент Пуассона | 0,26 |
Оптические свойства фторида кальция (CaF₂)
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазон пропускания | 0,13 – 10 мкм |
| Показатель преломления n | 1,39908 (λ = 5 мкм) |
| Потери на отражение | 5,5 % (λ = 5 мкм, 2 поверхности) |
| dn/dT | −10,6 × 10⁻⁶ /K |
Химические свойства фторида кальция (CaF₂)
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Растворимость в воде | 0,0017 г / 100 г при 20 °C |
| Молекулярный вес | 78,08 |
| Класс | Кубический (111) |
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Материал | CaF₂ кристаллический (флюорит) |
| Тип изделия | Оптическое окно (плоскопараллельная пластина) |
| Форма | Круглая или прямоугольная — по ТЗ |
| Диаметр / габарит | До 150 мм |
| Толщина | От 1 мм до 30 мм |
| Параллельность граней | ≤ 30″ (типовое); до 5″ — по запросу |
| Плоскостность N | 3…5 (типовое); до N = 1 — по запросу (λ = 632,8 нм) |
| Местная ошибка формы dN | ≤ 1 (λ = 632,8 нм) |
| Чистота поверхности (S/D) | До 40/20 по MIL-PRF-13830B |
| AR-покрытие | Возможно — с одной или обеих сторон, под DUV (193, 248 нм) / VIS / ИК |
Параметры в таблице — стандартные. Изготавливаем оптические окна из CaF₂ любых габаритов, толщин и допусков по чертежу или ТЗ заказчика, от 1 шт.
Изготовление
Для производства оптических окон из фторида кальция применяем технологию прецизионной обработки кристаллов:
- распиловка кристалла CaF₂ с учётом ориентации (111) на пластины расчётной толщины;
- грубое шлифование двух плоских поверхностей;
- тонкая шлифовка и доводка обеих сторон с контролем параллельности на интерференционном клине / автоколлиматоре;
- финишная полировка обеих сторон до dN ≤ 1;
- контроль плоскостности N и dN на интерферометре (λ = 632,8 нм);
- контроль параллельности граней на автоколлиматоре с разрешением до 5″;
- контроль чистоты поверхности по MIL-PRF-13830B (S/D);
- нанесение AR-покрытий с одной или двух сторон под рабочий диапазон (DUV / VIS / ИК) — по запросу.
Опыт обработки фторидных кристаллов и собственный оптический парк позволяют выпускать CaF₂-окна для эксимерной литографии, FTIR-приборов и высокоэнергетических лазерных систем.
Области применения
- Окна эксимерных лазеров ArF (193 нм) и KrF (248 нм);
- DUV-литография в полупроводниковом производстве;
- Окна спектрофотометров и FTIR-приборов (UV — средний ИК, до 10 мкм);
- Окна тепловизионной оптики 3–5 мкм;
- Атомно-абсорбционные спектрометры и аналитическое приборостроение;
- Окна высокоэнергетических лазерных систем — за счёт низкой абсорбции CaF₂;
- Окна газоанализаторов и кювет для жидкостей в УФ и ИК-диапазоне.
Как купить
Изготавливаем оптические окна из CaF₂ по чертежу или ТЗ заказчика, от единичных образцов до серийных партий. Для расчёта пришлите габарит (диаметр или стороны прямоугольника), толщину, требования по параллельности граней, плоскостности N, чистоте S/D и AR-покрытиям на info@quartz-prom.ru или позвоните +7 (499) 703-06-40 — рассчитаем стоимость и сроки.
Часто задаваемые вопросы
Какая параллельность граней у CaF₂-окон?
Стандарт — ≤ 30″. По запросу — до 5″ (контроль на автоколлиматоре).
В каком диапазоне работает окно из CaF₂?
0,13–10 мкм. Покрывает DUV (включая 193 и 248 нм), видимый и средний ИК-диапазон.
Можно ли заказать прямоугольное окно?
Да. Выпускаем круглые и прямоугольные пластины по чертежу заказчика.
Наносится ли AR-покрытие на обе стороны?
Да. Просветляющие покрытия — с одной или двух сторон под DUV (193, 248 нм), VIS или ИК-диапазон.
Какой максимальный диаметр окна?
До 150 мм. Большие диаметры — по согласованию с учётом доступности заготовок CaF₂.
Какой диапазон толщин?
От 1 до 30 мм в стандартном исполнении.
От какого количества возможен заказ?
От 1 штуки. Серийные партии — по согласованному графику поставок.
В заявке указываете точные параметры, количество экземпляров и любые дополнительные требования, включая чертежи (если это необходимо).
Мы также согласовываем сроки изготовления и доставки.
Готовую продукцию мы отправляем вам с доставкой по Москве и другим регионам.
Вы получите уведомление о готовности и времени доставки.
Балаклавский проспект, 24, к. 1, оф. 1/1 Главный офис
