Плосковыпуклые линзы из фтористого кальция CaF2
Изготавливаем плосковыпуклые линзы из фтористого кальция (CaF₂) для УФ-, видимой и ИК-оптики, эксимерных и DUV-систем. Местная ошибка формы dN ≤ 1 (λ = 632,8 нм), чистота поверхности до S/D 40/20, диаметр до 150 мм. По чертежу или ТЗ заказчика, от единичных образцов до серийных партий.
Для тонких плосковыпуклых линз из CaF₂. Требования к ошибкам формы поверхности N и dN снимаются, если отношение толщины линзы по оси tc к диаметру D меньше 1/10 (tc/D < 1/10).
Физические свойства фторида кальция (CaF₂)
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Плотность | 3,18 г/см³ |
| Температура плавления | 1360 °C |
| Коэффициент теплопроводности | 9,71 Вт/(м·K) |
| Коэффициент термического расширения | 18,5 × 10⁻⁶ /K |
| Твёрдость по Кнупу | 158,3 кг/мм² |
| Удельная теплоёмкость | 854 Дж/(кг·K) |
| Диэлектрическая постоянная (f = 1 МГц) | 6,76 |
| Модуль Юнга E | 75,8 ГПа |
| Модуль сдвига G | 33,77 ГПа |
| Модуль объёмной деформации K | 82,71 ГПа |
| Упругие коэффициенты | C11 = 164 МПа; C12 = 53 МПа; C44 = 33,7 МПа |
| Предел упругости | 36,54 МПа |
| Коэффициент Пуассона | 0,26 |
Оптические свойства фторида кальция (CaF₂)
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазон пропускания | 0,13 – 10 мкм |
| Показатель преломления n | 1,39908 (λ = 5 мкм) |
| Потери на отражение | 5,5 % (λ = 5 мкм, 2 поверхности) |
| dn/dT | −10,6 × 10⁻⁶ /K |
Химические свойства фторида кальция (CaF₂)
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Растворимость в воде | 0,0017 г / 100 г при 20 °C |
| Молекулярный вес | 78,08 |
| Класс | Кубический (111) |
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Материал | CaF₂ кристаллический (флюорит) |
| Тип линзы | Плосковыпуклая сферическая |
| Диаметр | До 150 мм |
| Местная ошибка формы dN | ≤ 1 (λ = 632,8 нм) |
| Общая ошибка формы N | По ТЗ (типовое N = 3…5) |
| Чистота поверхности (S/D) | До 40/20 по MIL-PRF-13830B |
| Условие снятия N и dN для тонких линз | tc/D < 1/10 |
| Просветляющее покрытие | Возможно — под рабочую длину волны (DUV / ИК) |
Параметры в таблице — стандартные. Изготавливаем плосковыпуклые линзы из CaF₂ любых диаметров, фокусных расстояний и допусков по чертежу или ТЗ заказчика, от 1 шт.
Изготовление
Для производства плосковыпуклых линз из фторида кальция применяем технологию прецизионной оптической обработки кристаллов:
- распиловка кристалла CaF₂ с учётом ориентации (111);
- сферическое алмазное шлифование выпуклой стороны;
- тонкая шлифовка и доводка плоской поверхности;
- финишная полировка под контроль dN на интерферометре (λ = 632,8 нм);
- контроль чистоты поверхности по MIL-PRF-13830B (S/D);
- нанесение просветляющего покрытия под DUV или ИК-диапазон — по запросу.
Опыт обработки фторидных кристаллов и собственный технологический парк позволяют выпускать линзы из CaF₂ с параметрами, соответствующими требованиям эксимерной литографии и высокоэнергетической лазерной техники.
Области применения
- Эксимерные лазеры (193 нм ArF, 248 нм KrF) — окна, выходные линзы, объективы;
- DUV-литография в полупроводниковом производстве;
- УФ- и ИК-спектрофотометрия (FTIR, ATR-приставки);
- Тепловизионная и ИК-оптика (3–5 мкм, 8–10 мкм);
- Аналитическое приборостроение: атомно-абсорбционные спектрометры;
- Высокоэнергетические лазерные системы — за счёт низкой абсорбции.
Как купить
Изготавливаем плосковыпуклые линзы из CaF₂ по чертежу или ТЗ заказчика, от единичных образцов до серийных партий. Отправьте запрос с диаметром, фокусным расстоянием, требованиями по dN, S/D и покрытиям на info@quartz-prom.ru или позвоните +7 (499) 703-06-40 — рассчитаем стоимость и сроки.
Часто задаваемые вопросы
В каком диапазоне длин волн прозрачен CaF₂?
Пропускание материала — от 0,13 до 10 мкм. Это покрывает DUV, видимый и средний ИК-диапазон, включая линии эксимерных лазеров 193 нм и 248 нм.
Чем CaF₂ предпочтительнее BaF₂ для DUV-применений?
CaF₂ имеет нижнюю границу пропускания 0,13 мкм против 0,15 мкм у BaF₂, выше твёрдость (158 vs 82 кг/мм²) и лучше переносит влажную атмосферу. Для маломощных CO/CO₂-лазеров часто выгоднее BaF₂.
Когда можно не контролировать N и dN?
Для тонких линз с отношением tc/D < 1/10 требования к ошибкам формы поверхности снимаются — это типовая практика для выходных окон и тонких корректоров.
Наносите ли просветляющее покрытие под 193 нм / 248 нм?
Да. Просветляющие, отражающие и светоделительные покрытия — под рабочую длину волны заказчика, включая DUV и ИК-диапазоны.
Какой максимальный диаметр изготавливаете?
До 150 мм. Большие диаметры — по согласованию с учётом доступности заготовок CaF₂.
От какого количества возможен заказ?
От 1 штуки. Серийные партии — по согласованному графику.
В заявке указываете точные параметры, количество экземпляров и любые дополнительные требования, включая чертежи (если это необходимо).
Мы также согласовываем сроки изготовления и доставки.
Готовую продукцию мы отправляем вам с доставкой по Москве и другим регионам.
Вы получите уведомление о готовности и времени доставки.
Балаклавский проспект, 24, к. 1, оф. 1/1 Главный офис
