Вакуумплотная керамика от ООО «ГК «Кварц-Пром» — это специализированные керамические изделия с практически нулевой открытой пористостью, способные обеспечивать герметичность вакуумных и газовых соединений при сохранении высокотемпературной стойкости и электроизоляционных свойств. У нас можно купить вакуумплотные изоляторы, проходные изоляторы, диэлектрические окна, керамо-металлические узлы и другие компоненты — стандартных исполнений и под заказ по чертежам. Производство в Москве, доставка по всей России. Изделия проходят обязательное тестирование на герметичность гелиевой течеискательной системой.
Поставки вакуумплотной керамики от ООО «ГК «Кварц-Пром»
ООО «ГК «Кварц-Пром» производит и поставляет вакуумплотную керамику для электронной промышленности, для производителей электровакуумных приборов, для лазерной техники, для научных установок физического эксперимента. Цена зависит от типа изделия, материала, требований к герметичности, наличия керамо-металлических спаев и количества. Стандартные позиции есть в наличии, специальные изготавливаются под заказ за 4–8 недель. Ниже приведён перечень типовых вакуумплотных керамических изделий.
| Артикул | Наименование | Цена |
|---|---|---|
| VK-001 | Изолятор вакуумплотный корундовый Al₂O₃ 99,7% | По запросу |
| VK-002 | Изолятор вакуумплотный высоковольтный | По запросу |
| VK-003 | Проходной изолятор (электрический ввод) | По запросу |
| VK-004 | Керамо-металлический спай (Al₂O₃ + ковар) | По запросу |
| VK-005 | Керамо-металлический спай (Al₂O₃ + молибден) | По запросу |
| VK-006 | Окно диэлектрическое для вакуумной камеры | По запросу |
| VK-007 | Окно микроволновое для волновода | По запросу |
| VK-008 | Изолятор для электронных пушек | По запросу |
| VK-009 | Изолятор для масс-спектрометров | По запросу |
| VK-010 | Корпус для электровакуумного прибора | По запросу |
| VK-011 | Втулка вакуумплотная керамическая | По запросу |
| VK-012 | Многоштырьковый ввод для вакуума | По запросу |
| VK-013 | Подложка из вакуумплотной керамики | По запросу |
| VK-014 | Колпак вакуумплотный | По запросу |
| VK-015 | Узел керамо-металлический по чертежу | По запросу |
| VK-016 | Изделие из вакуумплотной керамики по ТЗ | По запросу |
Технические характеристики
Вакуумплотная керамика — это техническая керамика с особо плотной структурой, не имеющая открытой пористости и обеспечивающая герметичность при работе в условиях высокого и сверхвысокого вакуума (давления до 10⁻⁹ мбар). Главное отличие от обычной технической керамики — гарантированный нулевой натёк гелия через стенку (натёк менее 10⁻⁹ мбар·л/с). Достигается это особым составом шихты (преимущественно высокочистый Al₂O₃ с минимальным количеством стеклофазы), специальной технологией спекания и финишной обработкой поверхности под керамо-металлический спай. Самые востребованные материалы для вакуумплотной керамики — корунд с содержанием Al₂O₃ от 96% (наиболее массовый, экономичный) до 99,7% (для прецизионных применений).
| Материал | Высокоплотный корунд Al₂O₃ (96–99,7%) |
| Открытая пористость | Менее 0,01% |
| Натёк по гелию | Менее 10⁻⁹ мбар·л/с |
| Длительная рабочая температура | До +1500 °C (для чистой керамики); до +500 °C (для керамо-металлических узлов) |
| Тип спая | Активная пайка (Mo-Mn metallization), пайка серебряным припоем |
| Совместимые металлы | Ковар, молибден, вольфрам, нержавеющая сталь |
| Тип изготовления | Стандартный или под заказ |
Физические свойства
| Плотность | 3,8–3,95 г/см³ |
| Электрическое сопротивление при 20 °C | До 10¹⁵ Ом·см |
| Диэлектрическая прочность | До 30 кВ/мм |
| Tan δ (диэлектрические потери) | 10⁻⁴ при 1 МГц |
| Прочность на изгиб | 300–400 МПа |
| Коэффициент линейного расширения | 8×10⁻⁶ 1/°C (согласован с коваром и молибденом) |
Химические свойства
| Дегазация в вакууме | Минимальная (после высокотемпературной обработки) |
| Стойкость к ионной бомбардировке | Высокая |
| Стойкость к УФ и рентгеновскому излучению | Высокая |
| Стойкость к атмосферной влаге | Полная |
| Стойкость к большинству химических реагентов | Высокая |
| Влияние на состав газов в вакууме | Минимальное (важно для высоковакуумных систем) |
Сферы применения
Вакуумплотная керамика — материал для самых требовательных приложений в науке и промышленности. В электровакуумной технике керамические изоляторы и керамо-металлические узлы — это конструктивная основа мощных электронных ламп, рентгеновских трубок, генераторов СВЧ-излучения (магнетронов, клистронов), электронно-лучевых пушек, ускорителей частиц. В научно-исследовательских установках — в составе ускорителей, синхротронных источников излучения, токамаков термоядерного синтеза, установок высокоэнергетической физики.
В аналитическом приборостроении вакуумплотные керамические компоненты применяются в масс-спектрометрах, в установках электронной микроскопии (вакуумные изоляторы электронной пушки), в оже-спектрометрах и других приборах поверхностного анализа. В лазерной технике используются как корпуса газоразрядных лазеров (CO₂, эксимерных) с электрическими вводами через вакуумплотные керамо-металлические узлы. В микроэлектронике — в установках напыления (магнетронных, ионных), в установках травления плазмой, в системах фотолитографии. В криогенной и сверхпроводящей технике — для электрических вводов в криостаты при гелиевых температурах. Также применяются в атомной энергетике и в аэрокосмических испытательных установках.
Особенности производства вакуумплотной керамики в ООО «ГК «Кварц-Пром»
Производство вакуумплотной керамики — одна из самых высокотехнологичных областей керамической индустрии. ООО «ГК «Кварц-Пром» поставляет вакуумплотную керамику и керамо-металлические узлы от российских и зарубежных производителей с многолетним опытом работы. Технология производства включает приготовление шихты из высокочистого глинозёма (содержание Al₂O₃ 96–99,7%) с малым количеством стеклофазообразующих добавок, формование (прессованием, литьём через шликер или экструзией), сушку, бискитный обжиг и окончательный обжиг при +1700 °C для получения плотной керамики.
Особенность производства — обязательная стадия металлизации поверхности керамики в зоне будущего спая с металлом. Применяется молибдено-марганцевая (Mo-Mn) металлизация: на поверхность наносится паста из порошков молибдена и марганца, выжигается при +1500 °C в водородной атмосфере, после чего поверхность приобретает металлические свойства и может быть припаяна к ковару, молибдену или нержавеющей стали серебряным или золотым припоем. Финальное тестирование каждого керамо-металлического узла проводится гелиевой течеискательной системой — это единственный надёжный способ выявить микропоры и микротрещины. По запросу выполняем сборку готовых вакуумплотных узлов с тестовыми протоколами герметичности и техническими паспортами.
Как купить вакуумплотную керамику от ООО «ГК «Кварц-Пром»
Чтобы купить вакуумплотную керамику или керамо-металлические узлы у поставщика ООО «ГК «Кварц-Пром», направьте заявку через форму на сайте, по телефону +7 (499) 703-06-40 или на почту info@quartz-prom.ru. Для расчёта укажите тип изделия, габариты, требуемую герметичность (натёк), рабочую температуру, рабочее напряжение (для изоляторов), материал металлической части (для керамо-металла) и количество. Для нестандартных задач приложите чертёж и техническое задание.
Нужны вакуумплотные керамические узлы под заказ? Завод-производитель ООО «ГК «Кварц-Пром» принимает заявки на изготовление по ТЗ и чертежам — изоляторы, проходные вводы, многоштырьковые гермоэлектровводы, диэлектрические окна для волноводов, корпусные узлы электровакуумных приборов. Это особенно востребовано разработчиками научного оборудования, лазерных установок, ускорительных систем, электровакуумных приборов. После согласования параметров готовится коммерческое предложение, фиксируются сроки и запускается производство партии с обязательным контролем герметичности.
Стандарты транспортировки и хранения
Вакуумплотная керамика и керамо-металлические узлы транспортируются с особой тщательностью — повреждение зоны спая или поверхности герметизации делает изделие непригодным для использования. Каждое изделие упаковывается индивидуально в герметичный пластиковый пакет (для защиты от пыли и атмосферной влаги, оседающих на металлизации) и затем в защитный контейнер с мягким наполнителем. Тара маркируется как «Хрупкое», «Беречь от ударов».
Хранить вакуумплотную керамику следует в сухих закрытых помещениях при температуре от +10 до +30 °C и относительной влажности не выше 60% в исходной герметичной упаковке. Длительное хранение во влажной атмосфере приводит к окислению металлизированных поверхностей, что снижает качество последующих спаев или нарушает герметичность готовых узлов. Помещения должны быть защищены от механических вибраций и резких температурных перепадов. Перед использованием рекомендуется визуальный контроль и проверка герметичности.
Требования к безопасности при использовании вакуумплотной керамики
Перед монтажом каждое изделие осматривается на отсутствие сколов керамики, трещин в зоне керамо-металлического спая, повреждений металлических контактных поверхностей. Особое внимание — поверхности металлизации, которая визуально выглядит как тонкий металлический слой на керамике; повреждение этого слоя нарушает герметичность спая. При установке исключаются перекосы и точечные нагрузки — это особенно критично для длинных керамических изоляторов в электронных пушках и ускорителях.
В процессе эксплуатации вакуумплотная керамика подвергается тепловым циклам, ионной и электронной бомбардировке, иногда — рентгеновскому облучению. Для сохранения герметичности соблюдается рекомендованный температурный режим — нагрев и охлаждение со скоростью не более 100 °C/час до +500 °C для керамо-металлических узлов (выше — риск разрушения спая из-за разности коэффициентов расширения). При высоковольтном применении соблюдаются нормы по диэлектрической прочности — пробой керамики приводит к её разрушению и потере вакуума с возможным выходом из строя всей установки. Регулярно контролируется состояние изделий и периодически проводятся проверки герметичности гелиевой течеискательной системой. Персонал, работающий с электровакуумным оборудованием, проходит обязательное обучение и использует средства индивидуальной защиты в соответствии с регламентами для конкретного типа установок (особенно при работе с высоковольтными или СВЧ-источниками).
Балаклавский проспект, 24, к. 1, оф. 1/1 Главный офис
